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产品简介
NCS-R90 无接触方块电阻测试系统是一款广泛应用于太阳能电池片制造过程中对表面方块电阻进行无损测量的仪器。该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
产品特点
■ 无接触无损伤测量
■ 适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料
■ 抗干扰强，稳定性好
■ 强大的工控机控制和大屏幕显示
■ 一体化设计操作更方便，系统稳定
■ 为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
■ 使用MTI Instruments的推/拉技术
■ 能适应浅结测试
■ 不会穿透PN结
技术指标
■ 测试尺寸：50mm- 300mm.
■ 测量范围：5-2000ohm/sq
■ 测量精度：2%
■ 测量重复精度：1%
